真空等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)進(jìn)行表面清洗和改性的設(shè)備。其主要原理是在真空環(huán)境下,通過電離氣體產(chǎn)生等離子體,利用等離子體在表面產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng),去除表面污染物和氧化層,從而改善表面性能。
真空等離子清洗機(jī)的工作原理如下:
1.將待清洗的物體放入真空室內(nèi),排除空氣,建立真空環(huán)境。真空環(huán)境可以有效地避免氧化和污染物的再污染。
2.在真空室內(nèi)加入氣體,如氧氣、氮?dú)獾?,然后通過高頻電場、微波等方式將氣體離子化,產(chǎn)生等離子體。
3.等離子體在表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng),去除表面污染物和氧化層。其中,化學(xué)反應(yīng)主要是通過等離子體中的活性離子與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),將其分解或轉(zhuǎn)化成易揮發(fā)的氣體,從而達(dá)到清洗的目的;物理效應(yīng)主要是通過等離子體中的電子、離子、自由基等物理效應(yīng),將表面污染物和氧化層剝離,從而達(dá)到清洗的目的。
4.清洗結(jié)束后,將氣體排出真空室,然后將真空室充氣,將清洗完成的物體取出。
真空等離子清洗機(jī)有以下幾個優(yōu)點(diǎn):
1.利用等離子體技術(shù),可以對表面進(jìn)行清洗和改性,清洗效果非常好。
2.可以清洗各種材料的表面,包括金屬、塑料、陶瓷等,清洗質(zhì)量非常高,可以去除表面的油污、氧化物、污漬等。
3.可以在短時間內(nèi)完成清洗,清洗速度非???。
4.清洗過程中不需要使用化學(xué)品,對環(huán)境沒有污染,同時也節(jié)約了能源。
5.可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、航空航天、醫(yī)療器械等領(lǐng)域,是一種非常重要的清洗設(shè)備。