當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 小型等離子清洗機(jī) > 定制型等離子清洗機(jī) > PLUTO-30型等離子清洗機(jī)/表面處理機(jī)/去膠機(jī)
簡(jiǎn)要描述:PLUTO-30型等離子清洗機(jī),等離子處理機(jī),等離子去膠機(jī)是專(zhuān)為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶的靈活性。
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