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PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。

PLUTO-MH等離子清洗機，等離子表面處理系統(tǒng)（實驗平臺）是針對于高校，科學(xué)研究所和企業(yè)實驗室，或者小批量生產(chǎn)的創(chuàng)新性企業(yè)而研發(fā)的創(chuàng)新型實驗平臺。針對用戶不同的需求，我們提供不同功能附件，在獲得常規(guī)性能的同時，擁有表面鍍膜（涂層），刻蝕，等離子化學(xué)反應(yīng)，粉體等離子體處理等多種能力。